| 发明名称 |
ПЕРФОРИРОВАННАЯ МЕМБРАНА ДЛЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ПРИБОРА |
| 摘要 |
FIELD: microelectronic instrumentation engineering; sensing elements of micromechanical instruments. ^ SUBSTANCE: proposed membrane of micromechanical instrument sensing element is perforated by through holes to form trigonal or tetragonal figures disposed so as to provide for intersection of lines interconnecting centers of adjacent figures by perforation elements. ^ EFFECT: enhanced reliability, sensitivity, and manufacturability of sensing elements. ^ 1 cl, 6 dwg, 1 tbl |
| 申请公布号 |
RU2003136308(A) |
申请公布日期 |
2005.05.20 |
| 申请号 |
RU20030136308 |
申请日期 |
2003.12.15 |
| 申请人 |
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образовани "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет ("ЛЭТИ" им. В.И. Уль нова (Ленина)" (СПбГЭТУ) (RU) |
发明人 |
Корл ков Андрей Владимирович (RU);Лучинин Виктор Викторович (RU);Белых Сергей В чеславович (RU) |
| 分类号 |
H01L29/84;H01L21/00 |
主分类号 |
H01L29/84 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
