发明名称 | 裂片装置 | ||
摘要 | 本发明系藉由一垂直升降机构进行承载台之上升与下降动作,并于片状脆性材料进行其中一切割线之裂片作业时,垂直升降机构可将承载台上升以使其承置片状脆性材料并进行裂片,而当片状脆性材料欲移动至下一切割线时,垂直升降机构可再将承载台降下,促使片状脆性材料与承载台之间保持一垂直距离,如此可避免片状脆性材料与承载台之间产生摩擦,防止静电产生,减少微粒污染与磨耗,降低片状脆性材料产生崩裂的危险性,进而可提高裂片品质。此外,本发明尚可包括有一冲程微调机构,其可用以调整裂片刀相对于片状脆性材料之冲程距离。 | ||
申请公布号 | TW200520017 | 申请公布日期 | 2005.06.16 |
申请号 | TW092134086 | 申请日期 | 2003.12.03 |
申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 陈贵荣;陈孟群;陈志明;赖志一 |
分类号 | H01L21/00 | 主分类号 | H01L21/00 |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | |||
地址 | 新竹县竹东镇中兴路4段195号 |