发明名称 裂片装置
摘要 本发明系藉由一垂直升降机构进行承载台之上升与下降动作,并于片状脆性材料进行其中一切割线之裂片作业时,垂直升降机构可将承载台上升以使其承置片状脆性材料并进行裂片,而当片状脆性材料欲移动至下一切割线时,垂直升降机构可再将承载台降下,促使片状脆性材料与承载台之间保持一垂直距离,如此可避免片状脆性材料与承载台之间产生摩擦,防止静电产生,减少微粒污染与磨耗,降低片状脆性材料产生崩裂的危险性,进而可提高裂片品质。此外,本发明尚可包括有一冲程微调机构,其可用以调整裂片刀相对于片状脆性材料之冲程距离。
申请公布号 TW200520017 申请公布日期 2005.06.16
申请号 TW092134086 申请日期 2003.12.03
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 陈贵荣;陈孟群;陈志明;赖志一
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号