光加热装置

摘要

提供一种以闪光灯作为热源的光加热装置，能防止矽晶圆的破裂。一种光加热装置，其系由封入稀有气体的闪光灯20，及围绕该闪光灯20的灯壳32，及装载着来自闪光灯的放射光所照射的矽晶圆的装载台，及控制闪光灯的发光的供电装置所构成，其特征为：该装载台面的上述闪光灯的一次发光，是波长220nm至370nm范围的积分放射强度A，与波长370至800nm范围的积分放射强度B的比率B/A为1.0以上。

主权项

1.一种光加热装置,其系由封入稀有气体的闪光灯,及围绕该闪光灯的灯壳,及装载着来自闪光灯的放射光所照射的矽晶圆的装载台,及控制闪光灯的发光的供电装置所构成,其特征为:上述装载台面的上述闪光灯的一次发光,是波长220nm至370nm范围的积分放射强度A,与波长370至800 nm范围的积分放射强度B的比率B/A为1.0以上。2.如申请专利范围第1项所述的光加热装置,其中,来自上述闪光灯的放射光是经由气密透光构件朝上述装载台放射,该装载台面的照射能量密度是20J/cm2以上。图式简单说明:第1图是表示本发明的光加热装置的整体概略构成的图式。第2图是表示本发明的光加热装置的加热源的闪光灯的图式。第3图是表示本发明的光加热装置的供电装置的电路例的图式。第4图是表示装载台的放射光的光谱的图式。第5图是表示本发明的实验结果的图表。