| 主权项 |
1.一种玻璃,其系由以下之第1玻璃相及第2玻璃相所组成者:由Si及O所成之第1玻璃相,其为具有SiO2组成之石英玻璃相,与由Si、Al及O所成之第2玻璃相,其为于100重量份之石英粉末中添加0.1至10重量份之含铝之氧化物粉末所得者;在该第2玻璃相中,Al对Si之质量比在0.01以上,该第1玻璃相系约均匀地分散于作为连续相之第2玻璃相中。2.如请求项1之玻璃,其为耐电浆元件。3.如请求项1之玻璃,其为电磁波透过窗用元件。4.一种电浆处理装置,其是藉由使用电磁波所生成之电浆来进行处理,其系备有:由玻璃所构成之元件,其可供该电磁波透过,用以在生成该电浆之室中导入该电磁波;具有外嵌该玻璃元件之多个开口部分之盖子元件;及固定于该盖子元件之天线;该玻璃为由以下之第1玻璃相及第2玻璃相所组成者:由Si及O所成之第1玻璃相,其为具有SiO2组成之石英玻璃相,与由Si、Al及O所成之第2玻璃相,其为于100重量份之石英粉末中添加0.1至10重量份之含铝之氧化物粉末所得者;在该第2玻璃相中,Al对Si之质量比在0.01以上,该第1玻璃相系约均匀地分散于作为连续相之第2玻璃相中。图式简单说明:图1表示电浆处理装置构造之概略断剖面图。图2表示图1所示装置之概略平面图。图3依本发明显示玻璃微组织之电子显微镜相片。图4表示依本发明一个电浆处理装置例子之概略剖面图。图5表示图4所示装置之概略平面图。 |
