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发明名称 VERFAHREN ZUR DOTIERUNG EINER AUF EINEM SUBSTRAT BEFINDLICHEN DIELEKTRISCHEN SCHICHT MIT STOERSTOFFEN
摘要
申请公布号 DE2356926(A1) 申请公布日期 1974.05.16
申请号 DE19732356926 申请日期 1973.11.14
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX. (V.ST.A.) 发明人 WIEMER, KLAUS CHRISTIAN, RICHARDSON, TEX. (V.ST.A.)
分类号 H01L21/22;C23C16/40;C23C16/507;H01L21/225;H01L21/283;H01L21/316;H01L27/00;H01L33/00;(IPC1-7):H01L7/44 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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