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发明名称 WERKWIJZE EN INRICHTING VOOR DE VERVAARDIGING VAN EPITACTISCHE LAGEN.
摘要
申请公布号 NL7511096(A) 申请公布日期 1976.03.23
申请号 NL19750011096 申请日期 1975.09.19
申请人 MAX PLANCK-GESELLSCHAFT 发明人
分类号 C30B19/00;C30B19/06;H01L21/208;(IPC1-7):B01J17/04 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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