发明名称
摘要
申请公布号 JPS5212062(B2) 申请公布日期 1977.04.04
申请号 JP19730028116 申请日期 1973.03.10
申请人 发明人
分类号 C23F1/00;H01L21/302;H01L21/306 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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