发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5376681(A) 申请公布日期 1978.07.07
申请号 JP19760152434 申请日期 1976.12.17
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 FUJIMOTO YOSHIHARU;NAKAMURA KUNIO
分类号 H01L29/78;H01L21/768 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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