发明名称
摘要
申请公布号 JPS5327616(B2) 申请公布日期 1978.08.09
申请号 JP19750003034 申请日期 1974.12.26
申请人 发明人
分类号 G03G5/00;G03G5/05;H01L31/08;(IPC1-7):G03G5/04 主分类号 G03G5/00
代理机构 代理人
主权项
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