| 发明名称 |
PRODUCTION OF INSB POLYCRYSTALLINE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53117961(A) |
申请公布日期 |
1978.10.14 |
| 申请号 |
JP19770032189 |
申请日期 |
1977.03.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NAKASHIMA MUNEYASU;SHIGETA JIYUNJI;MIYAMOTO NOBUO;KODERA NOBUO;OOI TETSU |
| 分类号 |
C23C14/14;H01L21/203;H01L21/22;H01L43/00;H01L43/10 |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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