发明名称 HYDROGEN ANNEALING PROCESS FOR SILICON GATE MEMORY DEVICE.
摘要
申请公布号 EP0034168(A4) 申请公布日期 1981.12.10
申请号 EP19800901693 申请日期 1981.02.24
申请人 NCR CORPORATION 发明人 TRUDEL, MURRAY LAWRENCE;DHAM, VINOD KUMAR CENTRAL PARK APARTMENTS, APT. 92
分类号 G11C14/00;H01L21/30;H01L21/324;H01L21/8247;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/324;H01L21/477 主分类号 G11C14/00
代理机构 代理人
主权项
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