| 发明名称 |
MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE USING A GAS MIXTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IE811531(L) |
申请公布日期 |
1982.01.11 |
| 申请号 |
IE19810001531 |
申请日期 |
1981.07.08 |
| 申请人 |
N.V. PHILIPS GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):H01C21/302 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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