发明名称 PROCEDE DE RAFFINAGE DE TETRAFLUORURE DE SILICIUM GAZEUX
摘要 <P>L'INVENTION CONCERNE UN PROCEDE DE RAFFINAGE D'UN TETRAFLUORURE DE SILICIUM GAZEUX, CONTENANT AU MOINS UN SILICOFLUORURE CONTENANT DE L'OXYGENE COMME IMPURETE.</P><P>SELON L'INVENTION, ON MET LE TETRAFLUORURE DE SILICIUM GAZEUX EN CONTACT AVEC DU FLUORURE D'HYDROGENE EN PRESENCE D'UN MILIEU LIQUIDE QUI A UNE FORTE AFFINITE POUR L'EAU, AFIN DE FORCER AINSI LE SILICOFLUORURE CONTENANT DE L'OXYGENE A REAGIR AVEC LE FLUORURE D'HYDROGENE.</P><P>L'INVENTION S'APPLIQUE NOTAMMENT A LA PREPARATION DE TETRAFLUORURE DE SILICIUM GAZEUX DE HAUTE PURETE POUR LA PREPARATION DE SILICIUM SEMI-CONDUCTEUR AMORPHE.</P>
申请公布号 FR2510982(A1) 申请公布日期 1983.02.11
申请号 FR19820013412 申请日期 1982.07.30
申请人 CENTRAL GLASS CY LTD 发明人 NAOMICHI KITSUGI, TERUO FUJINAGA ET TOYOZO OTSUKA;FUJINAGA TERUO;OTSUKA TOYOZO
分类号 C01B33/02;C01B33/037;C01B33/107;(IPC1-7):C01B33/08 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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