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发明名称 DIRECT HEATED CATHODE WITH FILAMENT HEATING CONTROL IN ELECTRON BEAM EQUIPMENTS AND METHOD FOR OPERATING THE SAME
摘要
申请公布号 EP0075708(A3) 申请公布日期 1983.07.06
申请号 EP19820107489 申请日期 1982.08.17
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 LISCHKE, BURKHARD, PROF. DR.;FROSIEN, JURGEN, DR.
分类号 H01J1/15;H01J1/13;H01J37/24;(IPC1-7):H01J29/00;H01J37/30 主分类号 H01J1/15
代理机构 代理人
主权项
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