| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING TARGET FOR RESISTANCE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58119606(A) |
申请公布日期 |
1983.07.16 |
| 申请号 |
JP19820000874 |
申请日期 |
1982.01.08 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA DENKI KK |
发明人 |
INOUE HIROSHI;TSUGE AKIHIKO |
| 分类号 |
H01C7/00;C23C14/08;H01C17/12 |
主分类号 |
H01C7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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