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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5839388(Y2) 申请公布日期 1983.09.05
申请号 JP19760040316U 申请日期 1976.04.01
申请人 发明人
分类号 G01J1/02;G01J1/42;G01J1/56;G01J5/02;G01J5/10;G01J5/28;G01J5/34;H01L31/00;H01L31/02;H01L31/16;(IPC1-7):G01J1/56 主分类号 G01J1/02
代理机构 代理人
主权项
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