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经营范围
发明名称
CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS AND PROCESS
摘要
申请公布号
IL69170(D0)
申请公布日期
1983.11.30
申请号
IL19830069170
申请日期
1983.07.06
申请人
ANICON INC
发明人
分类号
C23C16/44;C23C14/24;C23C16/46;C23C16/48;(IPC1-7):B01D/
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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