发明名称 MANUFACTURE OF SILICON TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPS59106153(A) 申请公布日期 1984.06.19
申请号 JP19820215565 申请日期 1982.12.10
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 YAMADA KOUICHIROU;YASUDA YASUMICHI;TANAKA TOMOYUKI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/72;(IPC1-7):01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
地址