| 摘要 |
볼로미터 소자(11) 및 레퍼런스 소자(21)를 가지는 적외선 검출기(1)에 있어서, 기판(10)의 표면으로부터 이간하여 기판(10)의 표면 상에 지지된 볼로미터 박막(22)과, 볼로미터 박막(22)의 기판(10)측의 표면에 절연막(31)을 개재시켜 형성된 방열용 금속막(23)과, 방열용 금속막(23) 및 기판(10)과 열적으로 접속된 복수의 금속 기둥(25)을 구비함으로써, 적외선에 의해 발생한 수광부(22a)의 열이 절연막(31), 방열용 금속막(23), 금속 기둥(25), 기판측 방열용 금속막(24)을 통해 기판(10)에 효율 좋게 방열되므로, 사용 환경의 변화에 의해 발생하는 온도 변화만을 정확하게 측정할 수 있고, 사용 환경에 있어서 온도 변화의 영향을 효율 좋게 저감시키면서, 소형화를 도모할 수 있다. |
