发明名称 TREATMENT OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS6215824(A) 申请公布日期 1987.01.24
申请号 JP19850154591 申请日期 1985.07.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SUZUKI TAKASHI;MAEDA YORIHISA;YAMAMOTO SHIGEYUKI
分类号 B08B3/08;H01L21/304 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
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