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发明名称 SOLID SURFACE EVALUATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01213947(A) 申请公布日期 1989.08.28
申请号 JP19880039856 申请日期 1988.02.22
申请人 NEC CORP 发明人 SATO TETSURO
分类号 G01N37/00;G01Q30/02;G01Q30/10;G01Q30/16;G01Q60/10;H01J37/28 主分类号 G01N37/00
代理机构 代理人
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