发明名称 CHIP BONDER
摘要
申请公布号 JPH0289326(A) 申请公布日期 1990.03.29
申请号 JP19880241348 申请日期 1988.09.27
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 ITO YASUO;YAMAGUCHI YUKIO
分类号 H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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