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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0290529(A)
申请公布日期
1990.03.30
申请号
JP19880241022
申请日期
1988.09.28
申请人
HITACHI LTD
发明人
SERIZAWA KOJI;KANEDA AIZO;SAKAGUCHI MASARU
分类号
H01L21/60;H01L21/321
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
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