发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG OHMISCHEN METALLHALBLEITERKONTAKTEN.
摘要
申请公布号 DE3762938(D1) 申请公布日期 1990.06.28
申请号 DE19873762938 申请日期 1987.07.30
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.R.L., AGRATE BRIANZA, MAILAND/MILANO, IT 发明人 GUALANDRIS, FABIO, I-24100 BERGAMO, IT
分类号 H01L21/285;H01L21/306;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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