| 发明名称 |
マイクロリソグラフィ投影対物レンズ |
| 摘要 |
Microlithography projection objectives for imaging into an image plane a pattern arranged in an object plane are described with respect to suppressing false light in such projection objectives. |
| 申请公布号 |
JP6050288(B2) |
申请公布日期 |
2016.12.21 |
| 申请号 |
JP20140146972 |
申请日期 |
2014.07.17 |
| 申请人 |
カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー |
发明人 |
フェルトマン，ハイコ;クラエフマー，ダーニエル;ペラン，ジャン−クロード;カルラー，ユーリアン;ドドック，アウレリアン;カメノフ，ウラディミル;コンラディ，オーラフ;グルナー，トーアアルフ;オーコン，トーマス;エップル，アレクサンダー |
| 分类号 |
G02B17/08;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
G02B17/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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