FORMATION OF FINE PATTERN,申请号JP19890046921-传众专利搜索

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发明名称	FORMATION OF FINE PATTERN
摘要
申请公布号	JPH02226717(A)	申请公布日期	1990.09.10
申请号	JP19890046921	申请日期	1989.02.28
申请人	FUJITSU LTD	发明人	MIYASHITA TSUTOMU
分类号	G03F7/00;H01L21/027;H03H3/08	主分类号	G03F7/00
代理机构		代理人
主权项
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