氮化物移除方法

摘要

一种用以自金属工具或铸模表面移除一氧化钛之方法，包括步骤：准备一个有一氮化钛覆于其上的金属工具或铸模表面；清理所述一氮化钛涂层；将所述涂覆有一氮化钛的金属工具或铸模表面置于有桶状铅室的电浆反应器内；其中，铅室的压力范围为0.5至5.0毫米汞柱，铅室的温度范围为40至100℃，电力范围为100至1000瓦；及将所述涂覆有氮化物的金属工具或铸模表面曝露于来自包括CF4，CHF3，C2F6，及SF6的一或多种气体之合反应性氟物种的气相电浆体中。