发明名称 |
NARROW-BAND OSCILLATION EXCIMER LASER |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH02303178(A) |
申请公布日期 |
1990.12.17 |
申请号 |
JP19890124898 |
申请日期 |
1989.05.18 |
申请人 |
KOMATSU LTD |
发明人 |
WAKABAYASHI OSAMU;KOWAKA MASAHIKO;KOBAYASHI YUKIO |
分类号 |
G03F7/20;H01S3/08;H01S3/1055;H01S3/225 |
主分类号 |
G03F7/20 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|