发明名称 ELECTROSTATIC ACTUATOR
摘要
申请公布号 JPH02311186(A) 申请公布日期 1990.12.26
申请号 JP19890133554 申请日期 1989.05.25
申请人 YASKAWA ELECTRIC MFG CO LTD 发明人 YAMAZUMI SHUJI;YAMADA HIROMICHI;SUEMATSU MASANORI
分类号 H02N11/00;H02N1/00 主分类号 H02N11/00
代理机构 代理人
主权项
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