正光阻组成物

摘要

一种正光阻组成物，包括辐射感应化合物及硷溶性树脂（此硷溶性树脂可由醛类与特定之含羟基化合物以缩合反应制得），此组成物可改善耐热性，且不破坏感光性及膜厚度之保持性。

主权项

1912651.一种正光阻组成物,包括 重氮化合物及硷溶性树脂,此硷溶性树脂系由醛类与下列化学式之化合物缩合反应而制得者:其中R1至R9为相同或不同,且分别为氢原子、或羟基,其条件为R1至R9中至少一个为羟基,且其中对该至少一个羟基为邻位及对位之至少二个基为氢原子;其中硷溶性树脂对 重氮化合物之重量比例为1:1至6:1。