发明名称 SEPARATING METHOD OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH04307756(A) 申请公布日期 1992.10.29
申请号 JP19910071860 申请日期 1991.04.04
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OKUMI TAIICHI
分类号 H01L21/301;H01L21/78 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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