| 发明名称 |
SUBSTRATE CLEANING AND DRYING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0536658(A) |
申请公布日期 |
1993.02.12 |
| 申请号 |
JP19910211460 |
申请日期 |
1991.07.30 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
KIRIYAMA KENJI;MASUOKA NOBORU |
| 分类号 |
B08B11/04;H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68;H05K3/26 |
主分类号 |
B08B11/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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