发明名称 METHOD OF CHECKING MULTI-THRESHOLD IGFET LARGE-SCALE INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 RU1132686(C) 申请公布日期 1993.07.15
申请号 SU19823498670 申请日期 1982.10.05
申请人 KRASNOZHON A.I.;SUKHORUKOV N.I. 发明人 KRASNOZHON A.I.;SUKHORUKOV N.I.
分类号 H01L21/66;G01R31/26;G01R31/28 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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