发明名称 EPITAXIALLY GROWN COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTALS WITH BUFFER LAYERS
摘要
申请公布号 EP0511864(A3) 申请公布日期 1993.09.08
申请号 EP19920303909 申请日期 1992.04.30
申请人 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED 发明人 HATA, MASAHIKO;FUKUHARA, NOBORU;MAEDA, TAKAYOSHI
分类号 H01L21/20;H01L21/205;H01L21/338;H01L29/205;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/20;H01L29/10 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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