| 发明名称 |
PROCEDIMIENTO DE FOTOGRABADO DE REVESTIMIENTOS SUPERFICIALES A BASE DE MATERIALES POLIMERICOS. |
| 摘要 |
EL PROCESO DE FOTOATAQUE AL ACIDO DE REVESTIMIENTOS SUPERFICIALES BASADO EN MATERIAL POLIMERICO, COMPRENDE LA IRRADIACCION DE LA SUPERFICIE REVESTIDA, CON PROTECTOR LOCALIZADA POR RAYOS LASER, CON LONGITUDES DE ONDA IGUALES O INFERIORES A 193 NM.
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| 申请公布号 |
ES2040227(T3) |
申请公布日期 |
1993.10.16 |
| 申请号 |
ES19870109597T |
申请日期 |
1987.07.03 |
| 申请人 |
MONTEDISON S.P.A. |
发明人 |
GARBASSI, FABIO, DR.-CHEM.;OCCHIELLO, ERNESTO, DR.-CHEM.;MALATESTA, VINCENZO, DR.-CHEM. |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/20;H05K3/00;(IPC1-7):G03F7/039 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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