| 摘要 |
본 발명은 기판 상의 임프린트재에 몰드를 사용하여 패턴을 형성하는 임프린트 장치를 제공하고, 임프린트 장치는 몰드 및 기판 중 적어도 하나를 변형시키도록 구성되는 변형 유닛, 및 적어도 하나가 변형된 상태에서 몰드와 임프린트재 사이의 접촉을 개시하고 그 후에 적어도 하나에서의 변형량을 서서히 감소시킴으로써 몰드와 임프린트재 사이의 접촉 면적을 서서히 증가시키는 처리를 제어하도록 구성되는 제어 유닛을 포함하고, 제어 유닛은 몰드 및 임프린트재가 서로 접촉되는 영역에서 몰드와 기판 사이의 상대 위치 관계를 유지하도록 변형량에 기초하여 몰드와 기판의 상대 위치를 제어한다. |
