Apparatus for producting inorganic alignment film

摘要

무기배향막 제조장치가 개시된다. 개시된 무기배향막 장치는 내부에 진공 분위기가 형성되는 챔버; 피증착물이 안착되는 트레이를 챔버의 내부로 인입하거나 챔버의 외부로 인출하는 이송부; 및 챔버의 내부에 배치되며 스퍼터 입자를 피증착물의 일면에 미리 설정한 각도로 분출하는 스퍼터건;을 포함하는 것을 특징으로 한다.