一种将石墨烯转移到柔性衬底的方法

摘要

本发明公开了一种将石墨烯转移到柔性衬底上的方法。该方法包括如下步骤：在附着石墨烯的原衬底上涂胶并烘干使胶固化成为柔性衬底；将固化的柔性衬底与硬质衬底进行键合；采用化学腐蚀液腐蚀原衬底；用去离子水反复清洗石墨烯/柔性衬底/硬质衬底结合体并吹干；将柔性衬底与石墨烯直接从硬质衬底上剥离，得到所需的附着在柔性衬底上的石墨烯。该方法操作简单，成本低，适用范围广，转移过程中石墨烯材料不容易被破坏，可以高效、稳定地将石墨烯转移到柔性衬底上，可与半导体工艺结合用于制备石墨烯柔性电子器件。

主权项

一种将石墨烯转移到柔性衬底上的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：a)将柔性衬底胶涂在附着有石墨烯的原衬底上；b)采用90℃至120℃的温度热烘30至120分钟使所述柔性衬底胶固化成柔性衬底；c)对该柔性衬底与硬质衬底进行20秒至60秒的等离子处理，然后将该柔性衬底与硬质衬底进行室温轻压键合；d)将键合后的硬质衬底放入腐蚀液中腐蚀掉所述原衬底；所述硬质衬底为硅片；e)用去离子水反复清洗石墨烯/柔性衬底/硬质衬底结合体并吹干；f)将所述柔性衬底与石墨烯直接从硬质衬底上剥离，得到附着在柔性衬底上的石墨烯。