| 摘要 |
본 발명의 실시예의 용량성 압력 트랜스듀서는, 기판(120) 상의 2개의 전극들을 다이어프램 전극과 용량성으로 커플링시킴으로써, 전극들 간의 물리적 접속을 필요로 함이 없이 트랜스듀싱 회로를 형성한다. 본 발명의 실시예들은, 커플링 전극(221) 및 감지 전극을 갖는 기판(120), 및 다이어프램 전극을 갖는 연결된 다이어프램(110)을 갖는다. 기판과 다이어프램 사이에 포지셔닝되는 스페이서(130)는, 감지 전극과 다이어프램 전극(241) 사이에 갭을 정의하는 캐비티를 제공한다. 커플링 전극(221)과 다이어프램 전극(241) 사이의 커패시턴스를 증가시키기 위해, 커플링 전극 위에 유전체 스페이서가 포지셔닝될 수 있다. 용량성 압력 트랜스듀서는, 기존의 용량성 압력 트랜스듀서들과 유사한 전기적 특성들을 가지며, 기계적 상호접속부들 및 부가적인 전도성 물질들의 제거에 의해, 제조하기가 더 용이하고, 장기적인 신뢰도 및 내구성 개선들이 초래된다. |
