一种位移和倾角一体化测试仪器

摘要

本发明涉及一种位移和倾角一体化测试仪器，包括一个半导体激光器，三个光学系统，被测面，一个反射镜，一个分光镜，两个光电探测器，和电路部分，所述的光电探测器a与光学系统c连接并位于中部，半导体激光器与光学系统a连接，位于光电探测器a与光学系统c的一侧，光电探测器b与光学系统b连接，位于光电探测器a与光学系统c的另一侧，所述被测面位于反射镜下方。其能同时测试被测物的位移和倾角变化，便于分析位移和倾角的相关性，结构紧凑，减少一次取放，提高了测试效率。

主权项

一种位移和倾角一体化测试仪器，其特征在于，包括一个激光器(1)，三个光学系统a、b、c(4、5、7)，被测面(10)，一个反射镜(8)，一个分光镜(6)，两个光电探测器a、b(2、3)，和电路部分，所述的光电探测器a(2)与光学系统c(3)连接并位于中部，半导体激光器(1)与光学系统a(4)连接，位于光电探测器a(2)与光学系统c(7)的一侧，光电探测器b(3)与光学系统b(5)连接，位于光电探测器a(2)与光学系统c(7)的另一侧，所述被测面(10)位于反射镜(8)下方，其中，一束光束经光学系统b(5)在光电探测器b(3)上形成光斑，进而反馈光斑的位置信息；当被测面(10)发生法线(9)方向的位移时，光电探测器b(3)上的光斑相应地也会发生位移；当光斑在设计的两个极限位置之间发生位移时，光电探测器b(3)输出的电流信号经过电流电压转换、信号放大和滤波后得到的两次电压的差值与光斑发生的位移值是一次函数的关系，光斑在初始位置时，光电探测器b(3)的输出电压为U1，当光斑位置发生位移ΔX时，电压值变为U2，则U2‑U1＝k×ΔX，其中k为常数，位移前后光电探测器b(3)输出电压差值除以常数k得出光斑发生的位移距离。