非接触振動抑制装置及び対象物加工方法

摘要

本発明は、第１の超音波振動部及び第２の超音波振動部を含み、前記第１の超音波振動部と前記第２の超音波振動部とは、対象物がそれらの間で介在できるよう、相互離隔して対向して配設され、前記第１の超音波振動部と前記第２の超音波振動部は、それぞれ超音波振動し、その超音波振動によって発生した反撥力を前記対象物に加えて、前記対象物を前記第１の超音波振動部と前記第２の超音波振動部との間で非接触にて拘束することで、前記対象物の振動を抑制することを特徴とする非接触振動抑制装置を提供する。また、本発明は、前記非接触振動抑制装置を利用して前記対象物の振動を抑制する段階と、振動が抑制された前記対象物を加工する段階と、を含むことを特徴とする対象物加工方法を提供する。