An apparatus for manufacturing a semiconductor having a liftpin and a method of assembling the same

摘要

리프트핀을 갖는 반도체 제조설비는, 적어도 하나의 홀을 갖는 정전척과, 정전척 하부에 배치되는 캐소드와, 캐소드 내부에 배치되되, 일부가 캐소드 하부로 돌출되도록 배치되며 하부에 암나사 구조를 갖는 부분을 포함하는 샤프트와, 그리고 홀을 통해 샤프트 내부로 삽입되는 적어도 하나의 리프트핀을 포함하며, 리프트핀은 단부에 스크류 구조로 구성되고, 스크류 구조의 단부는 샤프트 내의 암나사 부분과 스크류 체결된다.