多路分配装置

摘要

本发明提供一种多路分配装置，其能够向涂敷对象物的多个部位同时涂敷涂敷液而实现高产能化，并且能够实现分辨率高且自由度大的涂敷，装置结构简单，成本低廉。具备：扫描构件（2），能够相对于涂敷涂敷液的涂敷对象物（基板K）在水平面内沿着Y轴方向相对移动，通过Y轴扫描移动装置而沿着Y轴方向相对移动（空心箭头M）；多个分配装置（31~35），架设于扫描构件（2），分别具有滴下涂敷液的分配嘴；分配嘴移动装置，使各分配嘴的滴下涂敷液的下端部在水平面内移动；及控制装置，对Y轴扫描移动装置和分配嘴移动装置进行同步控制。

主权项

一种多路分配装置，具备：扫描构件，能够相对于涂敷涂敷液的涂敷对象物在水平面内沿着Y轴方向相对移动，通过Y轴扫描移动装置而沿着所述Y轴方向相对移动；多个分配装置，架设于所述扫描构件，分别具有滴下所述涂敷液的分配嘴；分配嘴移动装置，使各所述分配嘴的滴下所述涂敷液的下端部在水平面内移动；及控制装置，对所述Y轴扫描移动装置和所述分配嘴移动装置进行同步控制，所述分配嘴移动装置使所述分配装置以能够沿着所述Y轴方向及在水平面内与所述Y轴正交的X轴方向移动的方式架设在所述扫描构件上，并且通过驱动装置使所述分配装置沿着所述X轴方向及所述Y轴方向移动。