一种新型高功率高速无掩模光刻系统

摘要

本实用新型公开了一种新型高功率高速无掩模光刻系统，包括计算机控制及图形系统、点阵图形发生器、能够带动感光基板移动的高精度的移动平台、移动控制系统、位置同步系统，其特征在于：所述点阵图形发生器包括多个激光光源及多根光纤，所述激光光源直接与对应的光纤直接耦合，且所述光纤排列成多边形的点阵，激光光源与光纤间设有透镜系统及调制开关，所述调制开关与计算机控制及图形系统电连接且受其控制，从而控制激光光源所发出的光束进入光纤的通断。

主权项

一种新型高功率高速无掩模光刻系统，包括计算机控制及图形系统、点阵图形发生器、能够带动感光基板移动的高精度的移动平台、移动控制系统、位置同步系统，其特征在于：所述点阵图形发生器包括多个激光光源及多根光纤，所述激光光源直接与对应的光纤直接耦合，且所述光纤排列成多边形的点阵，激光光源与光纤间设有透镜系统及调制开关，所述调制开关与计算机控制及图形系统电连接且受其控制，从而控制激光光源所发出的光束进入光纤的通断。