发明名称 Magnetron sputter ion plating
摘要
申请公布号 GB2258343(B) 申请公布日期 1994.04.06
申请号 GB19920018562 申请日期 1992.09.02
申请人 * D G TEER COATING SERVICES LIMITED 发明人 DENNIS GERALD * TEER
分类号 C23C14/22;C23C14/32;C23C14/35;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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