发明名称 |
一种改善选择性发射极刻蚀后方阻均匀性的扩散方法 |
摘要 |
本发明公开了一种改善选择性发射极刻蚀后方阻均匀性的扩散方法,其方法是将沉积和推进过程均分为两步进行;整个扩散工艺过程中,大氮一直保持通入状态;整体的工艺时间与原技术方案相比保持不变。整个工艺步骤依次为:进舟,升温,稳定,沉积‑1,推进‑1,沉积‑2,推进‑2,冷却,退舟。本发明的有益效果是使硅片表面至PN结处形成一个较均匀的浓度,刻蚀后能保持较均匀的刻后方阻,解决串联电阻波动较大的问题。 |
申请公布号 |
CN102856435B |
申请公布日期 |
2016.12.21 |
申请号 |
CN201210323813.5 |
申请日期 |
2012.09.05 |
申请人 |
浙江鸿禧能源股份有限公司 |
发明人 |
冯晨 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L21/223(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
一种改善选择性发射极刻蚀后方阻均匀性的扩散方法,其特征是:针对采用三氯氧磷液态源扩散工艺进行优化,使用两步扩散的方法,使硅片表面至PN结处形成一个较均匀的浓度,刻蚀后也能保持较均匀的刻后方阻;整个工艺步骤依次为:进舟,升温,稳定,沉积‑1,推进‑1,沉积‑2,推进‑2,冷却,退舟;将沉积和推进过程均分为两步进行;整个过程中,大氮一直保持通入状态;整体的工艺时间持续62±23min。 |
地址 |
314206 浙江省嘉兴市平湖市新仓镇童车路 |