发明名称 |
一种硅微通道板的氧化方法 |
摘要 |
本发明公开了一种硅微通道板的氧化方法,具体步骤如下:1)将硅微通道板切割成一定形状;2)将硅微通道板置1号液和2号液中清洗;3)在平面型石英舟上放置两块平行的硅片或石英棒,将清洗好的硅微通道板架在硅片或石英棒上氧化,石英棒或硅片的方向与气流方向平行。本发明在已经通过阳极氧化等方法制作的硅微通道板的基础上,进行氧化,提高硅微通道板的板电阻,并能够克服应力造成的弯曲等问题,从而实现微通道板的应用。 |
申请公布号 |
CN102956416B |
申请公布日期 |
2016.12.21 |
申请号 |
CN201210402277.8 |
申请日期 |
2012.10.19 |
申请人 |
华东师范大学;上海欧普泰科技创业有限公司 |
发明人 |
王连卫;彭波波;杨平雄 |
分类号 |
H01J9/12(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01J9/12(2006.01)I |
代理机构 |
上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 |
代理人 |
吴泽群 |
主权项 |
一种硅微通道板的氧化方法,其特征在于:具体步骤如下:1)将硅微通道板切割成一定形状;2)将硅微通道板置1号液和2号液中清洗;3)在平面型石英舟上放置两块平行的硅片或石英棒,将清洗好的硅微通道板架在硅片或石英棒上氧化,石英棒或硅片的方向与气流方向平行;按体积比计,所述的1号液为氨水:双氧水:水=1:2:5;2号液为盐酸:双氧水:水=1:2:8。 |
地址 |
200062 上海市普陀区中山北路3663号 |