| 摘要 |
본 발명은 피조사물에 대한 편광광의 조사상태를 적정하게 관리하고, 품질이 저하된 피조사물의 제조를 억제하는 것을 과제로 한다. 본 발명은 피조사물에 편광광을 조사하는 조사면이 설치된 조사유닛과, 피조사물이 탑재되는 스테이지와, 스테이지상의 피조사물이, 조사면으로부터 편광광이 조사되는 조사영역을 조사면과 평행으로 통과하도록 스테이지를 반송하는 반송기구와, 반송기구에 의해 반송되는 스테이지의 이동중에, 스테이지 또는 피조사물의 위치를 검출하는 위치검출수단과, 위치검출수단이 검출한 검출결과에 기초하여 소정의 제어를 실시하는 제어수단을 구비한다. |
