发明名称 |
一种球体表面微小瑕疵的光学快速检测装置 |
摘要 |
一种球体表面微小瑕疵的光学快速检测装置,包括偏振激光器,所述偏振激光器的输出方向设置第一偏振片和分光棱镜,所述分光棱镜的反射出光侧依次布置1/2波片、渥氏棱镜和物镜,所述物镜远离渥氏棱镜的另一侧为被测面;所述分光棱镜的折射出光侧布置反射镜,所述反射镜的出光方向依次布置第二偏振片、第二汇聚镜和用于实现剪切干涉检测的第一光电探测器,所述反射镜、分光棱镜、1/2波片、渥氏棱镜和物镜位于同一光轴上。本实用新型提供一种提升检测效率、减少误判率的球体表面微小瑕疵的光学快速检测装置。 |
申请公布号 |
CN205826560U |
申请公布日期 |
2016.12.21 |
申请号 |
CN201620558640.9 |
申请日期 |
2016.06.08 |
申请人 |
浙江工业大学 |
发明人 |
陆惠宗;钱佳立 |
分类号 |
G01N21/95(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/95(2006.01)I |
代理机构 |
杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 |
代理人 |
王利强 |
主权项 |
一种球体表面微小瑕疵的光学快速检测装置,其特征在于:所述检测装置包括偏振激光器,所述偏振激光器的输出方向设置第一偏振片和分光棱镜,所述分光棱镜的反射出光侧依次布置1/2波片、渥氏棱镜和物镜,所述物镜远离渥氏棱镜的另一侧为被测面;所述分光棱镜的折射出光侧布置反射镜,所述反射镜的出光方向依次布置第二偏振片、第二汇聚镜和用于实现剪切干涉检测的第一光电探测器,所述反射镜、分光棱镜、1/2波片、渥氏棱镜和物镜位于同一光轴上。 |
地址 |
310014 浙江省杭州市下城区朝晖六区潮王路18号 |