发明名称 用于直拉单晶的加热器
摘要 本发明涉及一种用于直拉单晶的加热器,包括圆筒状的加热器本体,所述加热器本体从上向下分布有第一高温部、低温部,在加热器本体安装到坩埚的外围后,第一高温部和低温部分别对应坩埚的上部和中部;加热器本体通电后,第一高温部产生的温度高于低温部产生的温度。本申请的好处在于:第一高温部和低温部分别对应坩埚的上部和中部;加热器本体通电后,第一高温部产生的温度高于低温部产生的温度,使得在温差的作用下,坩埚上部的高氧硅液会流向坩埚中部,导致硅液表面即结晶面的氧含量很低,降氧效果相对于现有技术更好。
申请公布号 CN106222736A 申请公布日期 2016.12.14
申请号 CN201610900559.9 申请日期 2016.10.17
申请人 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 发明人 潘永娥
分类号 C30B15/14(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 主分类号 C30B15/14(2006.01)I
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人 唐清凯
主权项 一种用于直拉单晶的加热器(100),其特征在于:包括圆筒状的加热器本体(110),所述加热器本体(110)从上向下分布有第一高温部(A)、低温部(C);加热器本体(110)通电后,第一高温部(A)产生的温度高于低温部(C)产生的温度。
地址 755099 宁夏回族自治区中卫市中卫工业园